美國(guó)自動(dòng)精密儀器激光干涉儀

美國(guó)API Radin激光跟蹤儀是由一個(gè)*的、結(jié)構(gòu)緊湊的跟蹤頭、一個(gè)控制箱、筆記本電腦和連接整個(gè)系統(tǒng)的電纜組成的。其它配件還包括一個(gè)三角架、靶球、工具箱和測(cè)量軟件包。

伴隨著制造產(chǎn)業(yè)如：液晶面板、太陽能光伏、鋰電新能源、激光、貼裝、半導(dǎo)體、醫(yī)療制造、精密噴繪、精密檢測(cè)、點(diǎn)膠等行業(yè)的興起或進(jìn)階，帶來了龐大的精密自動(dòng)化設(shè)備需求；為匹配制造業(yè)相應(yīng)技術(shù)要求，自動(dòng)化設(shè)備的制造及標(biāo)定技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)也在不斷提升；這其中，無論是在生產(chǎn)制造過程中的測(cè)量檢測(cè)、還是在設(shè)備服役期間的校準(zhǔn)標(biāo)定，都是重中之重的環(huán)節(jié)，為自動(dòng)化設(shè)備的穩(wěn)定運(yùn)行提供最堅(jiān)實(shí)的保障。 

美國(guó)自動(dòng)精密儀器激光干涉儀

美國(guó)API激光干涉儀XD Laser的技術(shù)參數(shù)： 

1．1D激光主要可以測(cè)量定位誤差 

2．3D激光可以測(cè)量定位誤差、直線度誤差（雙向） 

3．5D/6D激光可以測(cè)量定位誤差、直線度誤差（雙向）、偏擺角、俯仰角和滾動(dòng)角

4．5D/6D標(biāo)準(zhǔn)型技術(shù)參數(shù)：

    1) 線性：0.5ppm .

    2) 測(cè)量范圍：40米（1D可選80米）

    3) 線性分辨力：0.001um.

    4) 偏擺角和俯仰角的精度：（1.0+0.1/m）角秒或1%顯示較大值

    5) 范圍：800角秒

    6) 滾動(dòng)角精度：1.0角秒

    7) 直線度精度：（1.0+0.2/m）um或1%顯示較大值

    8) 直線度范圍：500um

    9) 垂直度精度：1角秒

   10) 溫度精度：0.2攝氏度

   11) 濕度精度：5%

   12) 壓力精度：1mmHg